213nm深紫外單縱模激光器

簡要描述：213nm深紫外單縱模激光器，，適用于光學(xué)計(jì)量、213納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。

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廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-11-19
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激光器/光源

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詳細(xì)介紹

品牌	昊量光電	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

213nm深紫外單縱模激光器：

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器和非線性光學(xué)器件的專家?？梢蚤_發(fā)和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng)，擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，重點(diǎn)開發(fā)深紫外和紫外激光器。

IXION SLM 213是一款單縱模全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學(xué)計(jì)量、213納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該激光器在M2< 1.6的衍射受限光束中提供持續(xù)時(shí)間為6 - 8ns的短輸出脈沖，重復(fù)頻率在1至15 kHz之間。在213nm處，平均輸出功率高達(dá)100mw，具有超穩(wěn)定的脈沖走線和超過1.5 m的高相干長度，這是傳統(tǒng)激光器無法實(shí)現(xiàn)的。

213nm深紫外單縱模激光器參數(shù)：

Wavelength/波長	213 nm
Average power/平均功率	100mW
Pulse duration/脈寬	typ 6-8 ns
Energy per pulse/單脈沖能量	10µJ
Repetition rate/重復(fù)頻率	1-15 kHz
beam quality/光斑質(zhì)量	M2 < 1.6
Spectral bandwith/譜寬	< 100 MHz